聯(lián)系創(chuàng)洋
電話:
021-66126658
021-66126659
盧總：
139-1700-9455
昆山電話：
0512-5759 1865
郵箱:
sy.lu@cy-water.com
地址:上海市普陀區(qū)曹楊路1700號辰金高尚領域T9幢308室
半導體超純水系統(tǒng)工藝介紹
半導體超純水系統(tǒng)工藝介紹
超純水要求盡可能去除水中的離子DO(溶解氧)TOC(總有機碳)等雜質(zhì)，使其成分無限趨近于100%的水分子，25℃時理論電阻率可達18.3Mcm]以應用于對水質(zhì)純度要求極高的場合。在半導體產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，超純水主要用于清洗各種產(chǎn)品，其水質(zhì)對產(chǎn)品質(zhì)量、性能會產(chǎn)生重大影響，穩(wěn)定的超純水系統(tǒng)成為半導體產(chǎn)線不可或缺的配套系統(tǒng)之一。
目前，在半導體行業(yè)得到廣泛應用的超純水制備技術(shù)主要有離子交換法和電去離子法(EDI)其中離子交換法主要通過離子交換樹脂吸附水中的陰、陽離子，提高電阻率，同時配置去除DO、降解 TOC的裝置，該工藝具有制備水量大、出水水質(zhì)穩(wěn)定、工藝成熟、運行穩(wěn)定、操作難度低、運行成本低等優(yōu)點。
離子交換法是超純水系統(tǒng)常用的2種成熟工藝路線之一，已在電子、醫(yī)藥、化工等行業(yè)超純水制備系統(tǒng)中得到廣泛應用，也是最適合本項目需求的工藝路線。上海創(chuàng)洋將從設計和設備配置，各系統(tǒng)設備造價組成、主要設備造價組成3個方面分析了項目造價情況:設備是影響材料部分造價的主要因素，占比接近50%;半導體超純水制備系統(tǒng)核心材料仍以進口為主拋光系統(tǒng)和MAKEUP系統(tǒng)設備是設備總造價的絕對主體，占比接近70%;TOC-UV、樹脂、脫氣膜價格昂貴，合計占設備總造價比例接近60%。本項目工藝設計、造價信息可供類似項目參考。
服務號
微信公眾號
地址:上海市普陀區(qū)曹楊路1700號辰金高尚領域T9幢308室
電話: 021-66126658 021-66126659
傳真: 021- 6507 1195
郵箱: 951970355@qq.com